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靜電油霧凈化器采用靜電技術。含塵油霧氣凈化器進風口進入預過濾器,大顆粒的油霧塵被分離并收集到集油槽。含細小油霧塵的污染空氣從預分離器流出后,進入荷電區，通過存在大量離子及電子的空間時,離子及電子會附著在油霧塵上。附著電荷的油霧塵從荷電區出來后,進入集塵區。

在電場力的作用下,荷電油霧塵向其極性相反方向運動。油霧塵吸附在電極板上,細小的油霧塵被分離,潔凈空氣在風機負壓的作用下,經風機直排入空氣中。

靜電式油霧凈化器的電暈電場異極間具有 10-15 千伏特的電位差，使不導電的氣體分子經分解或電子附著成為自由離子。當氣流通過收塵電場區域時,粒子經離子撞擊帶電而移向具相反電性的收集電極。換言之,收集機制的第一步使氣體離子化,第二步使氣流中的粒子帶電。第三步使粒子撞擊至收集電極板而被收集。理論上,分離帶電粒子的電力與粒子帶電量及收集電場強度之積成正比。此電力的大小,就比重為1的1微米粒子而言,為重力的 3000 倍: 就比重為1的 10 微米粒子面言，為重力的 300倍，此為靜電式油霧凈化器高效能與高效率的原因。